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產品資料
4900/5700型電子束蒸發鍍膜系統
簡介:

Temescal電子束蒸發系統是為更高效率、高精準鍍膜產能而設計的物理氣相沉積生產型設備。這個指導原則支配著Temescal整個產品線的設計思想。Temescal經典系列系統符合人體工程學設計,具備強大的生產能力和高均勻性。

產品詳情

UEFC-4900 

UEFC-4900是UEFC-5700的緊湊版。該系統的源基間距和腔室角度專門為150mm晶圓工藝做了優化設計。

強大的中等生產設備
UEFC-4900是用于lift-off工藝的、 高均勻性的、 中等產能的蒸鍍設備。 Auratus方法論提高了有效的薄膜沉積速率,使得客戶能更快的制造晶圓。 與傳統的箱體式鍍膜機相比, UEFC-4900具有以下特點:
·  大的裝片量-25片150mm晶圓
·  在不增加設備占地和功耗的情況下獲得額外的40%晶圓裝片量
·  15分鐘內抽真空至5E-07Torr
·  高真空泵水蒸氣總抽速36500L/s
·  顯著減少的腔室體積和內表面積

UEFC-5700 
UEFC-5700是一款采用Auraus薄膜沉積工藝改進方法論的Temescal系統,極大地改善了lift-off鍍膜工藝。 不使用或僅使用極小型的均勻性修正板即可獲得很好的均勻性,并且還能減少高達40%的材料消耗。

超高產能的設備
UEFC-5700是用于lift-off工藝的高產能的蒸鍍設備。 Auratus方法論提高了有效的薄膜沉積速率,使得客戶能更快的制造晶圓。 與傳統的箱體式鍍膜機相比,UEFC-5700具有以下特點:
·  超大的裝片量-42片150mm晶圓
·  在不增加設備占地和功耗的情況下獲得額外的40%晶圓裝片量
·  10分鐘內抽真空至5E-07Torr
·  高真空泵水蒸氣總抽速44000L/s
·  顯著減少的腔室體積和內表面積

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