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產(chǎn)品資料
Auto306
簡介：

HHV Auto306是一種多功能的緊湊型鍍膜設(shè)備，設(shè)計(jì)用于滿足科研工作者和電子顯微學(xué)家的需求。Auto306可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標(biāo)準(zhǔn)化工藝附件，提供一系列實(shí)驗(yàn)技術(shù)以滿足現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室的需要。可以進(jìn)行電子束蒸發(fā)，熱阻蒸發(fā)等物理 氣相沉積鍍膜。
產(chǎn)品詳情
Auto306可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。
 
客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。
 

真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控，易于操作；高真空泵選擇包括擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時(shí)保護(hù)泵和樣品。





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